CPAES (Inductively Coupled Plasma atomic emission spectrometry)電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀，ICP-AES等離子體發(fā)射光譜儀是近三十年迅速發(fā)展的一種十分理想的痕量元素分析儀器.它基于物質在高頻電磁場所形成的高溫等離子體中,有良好特征譜線發(fā)射,進而實現(xiàn)對不同元素的測定.它具有檢出限極低、重現(xiàn)性好，分析元素多等顯著特點。附特殊裝置還可以實現(xiàn)更多非金屬元素的測量。

ICPOES(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometer ) 電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀，現(xiàn)在的稱呼。因為現(xiàn)在icp發(fā)射光譜技術用到了越來越多的離子線，"原子發(fā)射光譜儀"已經(jīng)不是那么科學，所以現(xiàn)在都叫oes了。ICPOES可同時分析常量和痕量組分，無需繁復的雙向觀測，還能同時讀出、無任何譜線缺失的全譜直讀等離子體發(fā)射光譜儀,快速、線性范圍寬等優(yōu)點。

ICPMS(Inductively Coupled Plasma mass spectrometry) 電感耦合等離子體質譜儀，ICP-MS是一個以質譜儀作為檢測器的等離子體，ICP-AES和ICP-MS的進樣部分及等離子體是極其相似的。ICP-AES測量的是光學光譜（120nm～800nm），ICP-MS測量的是離子質譜，提供在3～250amu范圍內每一個原子質量單位（amu）的信息。還可測量同位素測定。尤其是其檢出限給人極深刻的印象，其溶液的檢出限大部份為ppt級，石墨爐AAS的檢出限為亞ppb級，ICP-AES大部份元素的檢出限為1～10ppb，一些元素也可得到亞ppb級的檢出限。但由于ICP-MS的耐鹽量較差，ICP-MS的檢出限實際上會變差多達50倍，一些輕元素（如S、Ca、Fe、K、Se）在ICP-MS中有嚴重的干擾，其實際檢出限也很差。